压力调节器减压阀
AP500,SL5200,AP1400T,AP1000,AP1600,AP1200,AP1500,AP1900,AP9000,AP9100,AP1700,AP2700,SL5400,SL5500,SL5800,BP1000,AZ1000,AZ1400T,AZ9200,AZ1300,AZ1402TA,AK1400T,AK1000,AK1700,AP10PA,AP14PAT,AZ10PA,AZ15PA,AK15PA,AK14PAT,KT12,AKM80
压力调节器特征:
适用于半导体制造设备和设施等超高纯气体供应应用。
与集成气体系统 (IGS) 兼容。使用SUS316L(双熔体)材料。
从小流量到大流量(200slpm)、腐蚀性用途、绝对压力用途,产品种类繁多。
外部金属密封结构