气缸柜CC2000S,SEMI,BSGS;气体箱VMB,VMP
气缸柜CC2000S的4大基本原则
保持高纯度气体质量:为了应对以半导体制造工厂为代表的高纯度品质的需求,我们通过严选零部件和配管等材料,实现了高品质气体的供应。
以安全为设计理念:针对有毒、易爆等高危气体的安全供应,我们根据每种气体的物理特性进行设计。
设计时考虑到稳定的供应:针对24小时365天不间断供应系统的需求,我们根据应对各种可能出现的问题的丰富经验,设计出稳定的供应。
气体面板/气体箱 (VMB/VMP)特征:
根据您的要求设计系统。
独立控制系统包括控制系统。
遵守法律法规,应对各种应用。
小尺寸到大尺寸可选。
氦气(He)回收设备特征:
可进行高精度浓度控制,回收的氦(He)混合气体可调整至规定的氦(He)浓度并稳定供给。
不受排气条件影响的系统,该系统可以应对连续排气和间歇排气,可以构建与客户生产系统相匹配的回收系统。
对应各种废气成分:可去除油分、水分、金属、生成气体等杂质,提高纯度。我们将在分析废气后设计最佳系统。
通过选择最合适的设备来压缩和精炼长寿命氦 (He) 气,该系统最大限度地降低了消耗成本。
现场供应,我们还可以处理管理回收设备并供应浓度调整后气体的商业模式。
回收率为90%以上,系统的设计最大限度地减少了废气,从而实现了高产率。也可以追加对工件内部的氦(He)混合气体进行排气的功能。
按减排设备用途分类:
1.生产设备减排设备: 生产设备废气处理。
2.C/C VENT减排设备: 钢瓶更换过程中的残余气体处理。
3.应急减排设备: 供应设备漏气时应急。
气体检测仪是一种监测可燃气体和有毒气体泄漏的设备。从气体制造商的角度,我们将考虑安装工作、I/L 提案等,例如防止泄漏的安全措施。