Product Name:
RF溅射装置SVC-700RFI薄膜制作设备SANYU电子
Product Name:
RF溅射装置SVC-700RFI薄膜制作设备SANYU电子
上市日期：2017-06-12
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：RF溅射装置
型号：SVC-700RFI
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
小型紧凑尺寸
简便操作
不必说金属薄膜，最适合绝缘膜和抗氧化膜制作
小型的装备和选择性
品牌：SANYU电子
名称：RF溅射装置
型号：SVC-700RFI
溅射阴极 | 水冷式磁控管 φ2英寸×1源 |
溅射方向 | 下降 |
RF电源 | 200W 13.56MHz
手动BOX付 |
チャンバー部 | φ160mm×H311mm(給電部含) SUS制
水冷管付/水冷管 |
真空泵 | DP：200l/sec RP：20l/min
TMP：67l/sec(@N2) RP：20l/min (选择) |
到达压力 |
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圧力测定 | ピラニー真空计 |
气体导入机构 | 质量流量控制器 Ar：30sccm |
尺寸、重量(本体) | W787/D400/H859mm 約80kg
※高度及重量根据构成变动。
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所要电源 | 单相100V 50/60Hz 15A |
选择项：
基板加热单元（300℃/ 600℃/ 1000℃的类型）
基板冷却单元
基板旋转倾斜单元
电离真空计
水晶振动子式膜厚监视器
追加气体导入机构