Product Name:
RF溅射装置SVC-700RFII薄膜制作设备SANYU电子
Product Name:
RF溅射装置SVC-700RFII薄膜制作设备SANYU电子
上市日期：2017-06-12
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：RF溅射装置
型号：SVC-700RFII
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
薄膜、氧化物膜制作
充实的装备和选择性
卓越的RF磁控溅射
根据基板和溅射目标的尺寸，准备了两种类型
品牌：SANYU电子
名称：RF溅射装置
型号：SVC-700RFII
| SVC-700RFⅡ Type-Ⅰ | SVC-700RFⅡ Type-Ⅱ |
溅射阴极 | 水冷式磁控管
φ2インチ×3源
φ4インチ×1源 | 水冷式磁控管 φ2インチ×3源
φ4インチ×2源
φ6インチ×1源 |
溅射方向 | 向上 |
RF电源 | 300W 13.56MHz 手动BOX付 |
チャンバー部 | φ230mm×H200mm SUS製
水冷管付/水冷管 | φ320mm×H325mm SUS製
水冷管付/水冷管 |
真空泵 | TMP：260l/sec(@N2) RP：100l/min |
到达压力 | 10-5 Pa 台 |
圧力测定 | ピラニー真空計/电离真空计 |
气体导入机构 | 质量流量控制器Ar：30sccm |
尺寸・重量 | 本体：W744/D595/H1046mm 約140kg(RP別置)
制御盤：W570/D800/H1428mm 約115㎏
※本体/控制盘的高度及重量，根据构成变动。
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所要电源 | 単相100V 50/60Hz 3kVA |
选择：
基板加热单元（300℃/ 600℃/ 1000℃的类型）
基板冷却单元
基板旋转倾斜单位
水晶振动子式膜厚监视器
追加气体导入机构
オートマッチャー
反溅射机构
直流电源追加
デポダウン规格