Product Name:
直流溅射装置SVC-700DCII薄膜制作设备SANYU电子
Product Name:
直流溅射装置SVC-700DCII薄膜制作设备SANYU电子
上市日期：2017-06-12
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：直流溅射装置
型号：SVC-700DCII
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
钛，Cr，W等各种金属薄膜制作用
充实的装备和选择性
成本性能卓越的DC磁控管溅射
根据基板和溅射目标的尺寸，准备了两种类型
品牌：SANYU电子
名称：直流溅射装置
型号：SVC-700DCII
溅射阴极 | 水冷式磁控管
φ2インチ×1源 |
溅射方向 | 向下 |
RF电源 | 500V 0.6A |
チャンバー部 | φ160mm×H311mm(給電部含) SUS制
水冷管付/水冷管 |
真空泵 | DP：200l/sec RP：20l/min
TMP：67l/sec(@N2) RP：20l/min (选择) |
到达压力 | 7×10-4 Pa以下 |
圧力测定 | ピラニー真空计 |
气体导入机构 | 质量流量控制器 Ar：30sccm |
尺寸、重量(本体) | W787/D400/H859mm 約80kg |
所要电源 | 単相100V 50/60Hz 15A |
选择项：
基板加热单元（300℃/ 600℃/ 1000℃的类型）
基板冷却单元
基板旋转倾斜单元
电离真空计
水晶振动子式膜厚监视器
追加气体导入机构