Product Name:
SC-701MKII导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
Product Name:
SC-701MKII导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
上市日期：2017-06-12
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：导电薄膜制作用溅射装置
型号：SC-701MKII
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
在直流溅射范畴内的最小超紧凑模型
装备真空计，确保膜条件的再现性
手动式快门的安装可能（选项）。
在专用样品台上，简单地从T - S之间的距离
因为高分辨率SEM用试料制作。
反射薄膜制作用途。
品牌：SANYU电子
名称：导电薄膜制作用溅射装置
型号：SC-701MKII
阴极 | φ2インチDCマグネトロン/平板型电极 |
可适用目标 | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
圧力测定 | ピラニー真空計 |
圧力控制 | 根据滚针阀手动控制
导入口径外径φ6mm 触式接头 |
过程气体 | Ar气体 |
真空泵 | 直結型ロータリーポンプ： 20L/min(带自动泄漏) |
舱室尺寸 | 内径φ90×D90mm (SUS) |
试料交换方法 | 前面门开闭式 |
尺寸(W/D/H) | 本体：160/450/290mm RP： 295.5/156/199.5mm |
重量 | 本体：9㎏ RP：9㎏ |