Product Name:
SC-701AT导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
Product Name:
SC-701AT导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
上市日期：2017-06-12
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：导电薄膜制作用溅射装置
型号：SC-701AT
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
排气→地坪（蚀刻）→大气开放全自动
在小型模型边膜厚度控制（简易型）可能。
简单操作，高的再现性的全自动飞溅装置
镀膜/蚀刻模式搭载
品牌：SANYU电子
名称：导电薄膜制作用溅射装置
型号：SC-701AT
阴极 | φ2 インチ/2 极对象电极 |
可适用目标 | Au 目标附属 |
圧力测定 | Al 目标附属 |
圧力控制 | 预置方式/数字显示膜厚度监视器 |
过程气体 | 针阀 |
真空泵 | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
舱室尺寸 | 自动 |
试料交换方法 | 内径φ120mm×D120mm(SUS 製) |
尺寸(W/D/H) | 前面门开闭式 |
重量 | 本体:225/420/320mm
RP:300/160/200mm |
阴极 | 本体:15kg
RP:9kg |