Product Name:
SC-701MC导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
Product Name:
SC-701MC导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
上市日期:2017-06-12
Product Type:
品牌:SANYU电子
名称:导电薄膜制作用溅射装置
型号:SC-701MC
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点:
采用
减轻离子伤害的磁控管阴极
排气→→大气开放到全自动涂层
磁控管的磁控阴极为质高的溅射薄膜
在电极的溅射薄膜可以简单地涂层
反射薄膜制作用途
品牌:SANYU电子
名称:导电薄膜制作用溅射装置
型号:SC-701MC
阴极 | φ2 インチDCマグネトロン/2 极对向电极 |
可适用目标 | Au 附属目标 |
圧力测定 | 预置方式/数字显示膜厚度监视器 |
圧力控制 | 针阀 |
过程气体 | 直接连接式旋转泵:20l/min(自動リーク付) |
真空泵 | 自動 |
舱室尺寸 | 内径φ120mm×D120mm(SUS 製) |
试料交换方法 | 前面门开闭式 |
尺寸(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
重量 | 本体:15kg RP:9kg |