Product Name:
SC-701HMCII导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
Product Name:
SC-701HMCII导电薄膜制作用溅射装置SANYU电子
上市日期:2017-06-12
Product Type:
品牌:SANYU电子
名称:导电薄膜制作用溅射装置
型号:SC-701HMCII
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点:
W(钨镍()/镍)/ Cr(铬)/钛(钛)等的成膜对应的DC溅射装置
磁控管阴极采用
用计算机搭载高精度控制成膜过程。
操作方法是全自动/手册的2钟模式
自动快门机构标准装备
用途:
W / Ni / Cr /钛等成膜
燃料电池用基础实验
品牌:SANYU电子
名称:导电薄膜制作用溅射装置
型号:SC-701HMCII
阴极 | φ2英寸磁控阴极 |
快门机构 | 手动操作 |
气体导入机构 | 针阀 (手动控制) |
真空泵 | 直接连接式旋转泵:100l/min(自动泄漏) |
舱室尺寸 | 内径φ160mm×D160mm (SUS 製) |
試料交換方法 | 前面门开闭式 |
寸法 (W/D/H) | 本体:360/360/260mm RP:174/460/264mm |
重量 | 本体:20kg RP:23kg |