品牌：SANYU电子
名称：导电薄膜制作用溅射装置
型号：SC-701HMCII
特点：
W（钨镍（)/镍)/ Cr（铬)/钛（钛）等的成膜对应的DC溅射装置
磁控管阴极采用
用计算机搭载高精度控制成膜过程。
操作方法是全自动/手册的2钟模式
自动快门机构标准装备
用途：
W / Ni / Cr /钛等成膜燃料电池用基础实验
阴极
φ2英寸磁控阴极
快门机构
手动操作
气体导入机构
针阀 （手动控制）
真空泵
直接连接式旋转泵:100l/min（自动泄漏）
舱室尺寸
内径φ160mm×D160mm (SUS 製)
試料交換方法
前面门开闭式
寸法 (W/D/H)
本体:360/360/260mmRP:174/460/264mm
重量
本体:20kgRP:23kg
粤公网安备 44030502001236号