Product Name:
SC-708基板镀膜离子溅射装置SANYU电子
Product Name:
SC-708基板镀膜离子溅射装置SANYU电子
上市日期：2017-06-12
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：基板镀膜离子溅射装置
型号：SC-708
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
对大型基板全面镀膜的离子溅射装置
溅射目标是4 '/ 5 '/ 6 '/ 7 '/ 8 ' 1英寸单位隔开的尺寸
喷镀薄膜制作，微通道流路形成时的PDMS表面处理对应
镀膜方式/蚀刻模式搭载
用途：
各种设备的电极膜
反射膜制用途
样品表面亲水化处理用途（蚀刻模式）。
PDMS表面处理用途（蚀刻模式）等
品牌：SANYU电子
名称：基板镀膜离子溅射装置
型号：SC-708
阴极 | φ4～8インチ / 2 极对向电流 |
溅射电流 侵蚀电流 | 0～50mA (附带电流计) |
溅射电流 侵蚀电流 | 0.8 / 1.4kV |
气体导入机构 | 针阀 |
真空泵 | 直接连接式旋转泵:100l/min(自动泄漏) |
舱室尺寸 | 内径φ240mm×D240mm(SUS 製) |
試料交换方法 | 前面门开闭式 |
試料尺寸 | Max.φ4 ～8英尺 |
尺寸 (W/D/H) | 本体:282/450/440mm
RP:460/175/265mm |
重量 | 本体:約20kg
RP:23kg |