品牌:SANYU电子
名称:基板镀膜离子溅射装置
型号:SC-708
特点:
对大型基板全面镀膜的离子溅射装置
溅射目标是4 '/ 5 '/ 6 '/ 7 '/ 8 ' 1英寸单位隔开的尺寸
喷镀薄膜制作,微通道流路形成时的PDMS表面处理对应
镀膜方式/蚀刻模式搭载
用途:
各种设备的电极膜
反射膜制用途
样品表面亲水化处理用途(蚀刻模式)。
PDMS表面处理用途(蚀刻模式)等
阴极
φ4~8インチ / 2 极对向电流
溅射电流
侵蚀电流
0~50mA (附带电流计)
0.8 / 1.4kV
气体导入机构
针阀
真空泵
直接连接式旋转泵:100l/min(自动泄漏)
舱室尺寸
内径φ240mm×D240mm(SUS 製)
試料交换方法
前面门开闭式
試料尺寸
Max.φ4 ~8英尺
尺寸 (W/D/H)
本体:282/450/440mmRP:460/175/265mm
重量
本体:約20kgRP:23kg
粤公网安备 44030502001236号