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SVC-700(DP类型)抵抗加热型真空镀膜装置SANYU电子

Product Name:

SVC-700(DP类型)抵抗加热型真空镀膜装置SANYU电子

上市日期:2017-06-12
Product Type:

品牌:SANYU电子

名称:抵抗加热型真空镀膜装置

型号:SVC-700(DP类型)

 

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特点:

真空镀膜的基本塞住模型

包装装置作为必要的最低限度的功能。

同时,根据DP类型开关阀门OPEN / CLOSE简单操作

丰富的选择,满足将来的功能。

 

用途:

各种设备的电极膜

反射膜制用途(铝蒸发等)

电子显微镜样品

碳膜制用途等

 

品牌:SANYU电子

名称:抵抗加热型真空镀膜装置

型号:SVC-700(DP类型)

 

 

蒸着方式

抵抗加熱方式

蒸着电源

12V50A / 7V80A (切換式)

蒸着用电极

2

气系

DP: 200L/sec RP: 20L/min
TMP: 67L/sec(@N
2) RP: 20L/min (选项)

到达压力

10-4Pa

电铃

内径φ160mm×H225mm ((玻璃制附带保护套)

尺寸 (W/D/H)

600/400/800mm

重量

約 40kg

所要电源

単相100V 50/60Hz 10A (3Pプラグ)

蒸着方式

2L/min 20℃±5℃ 0.2MPa  × 1系统

选项:

电离真空计

ピラニー真空计

水晶振动子式膜厚监视器

基板加热单元(300℃/ 600℃的类型)

基板冷却单元

基板旋转倾斜单位

碳蒸发用闪光灯电源

EB淀积单元(单- Gun

有机质蒸发用电源

φ160毫米不锈钢制钟形

φ230毫米不锈钢制钟形

气体导入装置

外部导入端子

液体氮气圈闭(排气用)

 

   
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