Product Name:
SVC-700EB抵抗加热型真空镀膜装置SANYU电子
Product Name:
SVC-700EB抵抗加热型真空镀膜装置SANYU电子
上市日期：2017-06-12
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：抵抗加热型真空镀膜装置
型号：SVC-700EB
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
高级的标准模型
由于电阻加热蒸发电源的追加，更可对应多层膜和厚膜
品牌：SANYU电子
名称：抵抗加热型真空镀膜装置
型号：SVC-700EB
蒸着方式 | 抵抗加熱方式/电子方式 |
E-GUN | 2kW 単GUN |
EB電源 | -4kV×500mA (Max) |
抵抗加熱用蒸着電源 | 12V45A/7V80A |
抵抗加熱用電極 | 2組 |
ベルジャー | φ160mm×H225mm (玻璃制・附带保护套) |
到達圧力 | 10-4 Pa台 |
真空泵 | DP：200l/sec RP：20l/min
TMP：67l/sec(@N2) RP：20l/min (选项) |
圧力测定 | ピラニー真空計/電離真空計(选项) |
尺寸・重量 | 本体： W600/D400/H950mm 約75kg(RP別置)
制御盤：W570/D800/H1428mm 約115㎏
※本体/制御盤の高さ及び重量は、構成により変動します。
|
所要电源 | 単相100V 50/60Hz 5kVA |
选项：
波束扫描
电阻加热源单元
基板加热单元（300℃/ 600℃）类型
基板冷却单元
基板旋转倾斜单元
不锈钢钟形罩
电离真空计
ピラニー真空计
水晶振动子式膜厚监视器
气体导入
外部导入端子