Product Name:
SVC-700LEB抵抗加热型真空镀膜装置SANYU电子
Product Name:
SVC-700LEB抵抗加热型真空镀膜装置SANYU电子
上市日期:2017-06-12
Product Type:
品牌:SANYU电子
名称:抵抗加热型真空镀膜装置
型号:SVC-700LEB
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点:
3连式或4连电子选择
有宽裕的粒子尺寸,没有大型基板的蒸镀工作压力
由于电阻加热蒸发电源的追加,更可对应多层膜和厚膜
品牌:SANYU电子
名称:抵抗加热型真空镀膜装置
型号:SVC-700LEB
| SVC-700LEB/3G | SVC-700LEB/4G |
蒸着方式 | 電子ビーム方式 |
E-GUN | 2kW 3连式 | 5kW 4连式 |
EB电源 | -4kV×500mA (Max) | -10kV×500mA (Max) |
抵抗加熱蒸着 | 选择 |
チャンバー | φ400mm×D400mm (SUS制・圆筒型) |
真空泵 | TMP:260l/sec(@N2) RP:100l/min |
到达压力 | 10-4 Pa台 |
圧力测定 | ピラニー真空計/电离真空计 |
尺寸・重量 | 本体:W744/D595/H1371mm 約230kg(RP別置) 控制盘:W570/D800/H1750mm 約115㎏ ※本体控制盘的高度以及重量根据构造变动
|
所要電源 | 单相100V 50/60Hz 5kVA | 单相100V 50/60Hz 3kVA 三相200V 50/60Hz 10kVA |
选项:
波束扫描
抵抗加热源单元(淀积电源:SVC - 7 PS 80必要)
基板加热单元(300℃/ 600℃/ 1000℃)类型
基板旋转装置
基板冷却单元
基板旋转倾斜单位
水晶振动子式膜厚监视器
气体导入
外部导入端子