品牌：SANYU电子
名称：电子显微镜试料用离子装置
型号：SVM-721
特点：
在电解研磨和化学研磨处理不完的样品最表面的研磨是最好的装置。
在电解研磨和化学抛光处理后的加工过程中也最适合的离子加工装置。
离子ミリング的特殊样品制作（并不需要旧显微镜用薄片切片机等的切片制作）。
FIB装置相比，节约成本。
离子源
方式
冷阴极
加速电压
2?8kV（1kV step）
射束电流
最大150μA
射束径
φ4mm
射束軸合わせ
专用导向治具
ミリングレート
最大 50nm/min (8kV/Si基板)
动作气体
Ar气体 (99.9%以上)针法手动式
チャンバー部
内径φ160mm×奥行140mm
试料尺寸
最大 φ50mm/t20.5mm包埋树脂的时候 φ32mm/t17.5mm（专用支架使用）
试样台
高
0?10mm可変（試料装着时的调整）
偏心量
最大±4mm（試料装着时的调整）
倾斜
0°/60°/80° の3段階
回转速度
約15rpm（固定）
真空泵
TMP
67L / sec(@N2)
RP
20L / min
設置
尺寸
本体
280(W)/320(D)/460(H)mm
156(W)/296(D)/200(H)mm
重量
約30kg
約10kg
所要电源
単相100V 50/60Hz 10AGND付3極プラグ规格
粤公网安备 44030502001236号