特点：
100 Pa至105 Pa（760 Torr，大气压）为止稳定低温（非平衡）等离子发生器
可根据所有天然物种产生的等离子可能（例子：空气、ħ等也包含）。
高游离基/离子密度化过程的高速化/低成本化化可能。
应用领域，各种表面处理和有害气体的分解/无害等范围
用途：
薄膜制作：钻石膜，DLC膜，SiOx膜等的等离子CVD
活性化：溶剂，中间底漆不需用塑料等的涂装、提高印刷性
清洗：铜等金属表面的氧化物，机系去除污垢
新材料合成：超微粒子（纳米粒子）等生成
分解：PFC等有害化合物气体无毒化/清净化，或者向低分子气体分解