Product Name:
SPG-724电子射线绘图机SANYU电子
Product Name:
SPG-724电子射线绘图机SANYU电子
上市日期：2017-06-13
Product Type:
品牌：SANYU电子
名称：电子射线绘图机
型号：SPG-724
Order Hotline:
QQ:2943570851
特点：
附加风格的EB光刻用图形生成装置⇒各种类型安装可能。
根据市面上的CAD的采用马上就可以浮起点子
为了不使用电子线绘图专用机的专门知识/技能/熟练的技术，无论谁都可以在轻松的模式形成。
区域广泛（最大5毫米）的批量曝光
描画方式 | 光栅扫描系统/方块扫描 |
扫描速度 （时间）剂量 | 0.5～10,000μsec/ピクセル
(設定単位：0.1μsec/ピクセル) |
绘图象素数 | ラスタースキャン方式 | ブロックスキャン方式 |
1,000×1,000
2,000×2,000
4,000×4,000
5,000×5,000
10,000×10,000 | 1,000×1,000 |
绘图字段 | 50μm□/100μm□/
200μm□/500μm□ | 2,500μm□
1ブロック＝2.5μm□
(SEM仕様による) |
品牌：SANYU电子
名称：电子射线绘图机
型号：SPG-724
机器构成
品名 | 图形发生器 |
型号 | SPG-724 |
机器构成 | 图形发生器本体 软件
PC |
用途 | ・EB绘图模式，创建这个图形那样束控制装置 图形控制软件、图形数据制作软件 |
品名 | 落料装置 |
形式 | PG-BBD |
機器構成 | 消隐电极 驱动程序 200 V型电源 |
用途 | ・按照绘图命令进行光束的装置 ·镜筒电极，插入需要PCD端口利用 |
品名 | 吸收电流针 |
形式 | PG-AEM |
机器构成 | 电流计本体 |
用途 | ・pA ~ nA定做的电流表 用照射到样品照射的电流量 |
选项：
高精度舞台（控制软件）
高稳定偏转放大器