清洁用大排气真空泵
TS系列・干真空泵，耗电量少，耐久性出色的清洁用生态干真空泵。
必要的压力，排气速度比机动增压和组合的TE系列可以选择匹配的泵。
TS系列型号：TS100,TS220,TS300,TS600
TE系列型号：TE400,TE600,TE1200,TE2400,TE4200
用途：
真空镀膜装置
卢德锁定
等离子清洗装置
硅单晶体提拉装置
电子束加工机
气体循环回收装置
气体置换
真空成形装置
真空吸附搬送
真空包装机
真空脱气、脱泡沫
真空冷却
分析装置，化学实验装置
低温泵的粗引・再生
各种粗拉用，TMP背泵
其他清洁真空装置