自动酸碱洗涤装置
运用长年积累的技术，以考虑到成本降低的方式来提案
除了前面搬运机型、背面上部搬运机型之外，还可以支持上部搬运机型、背面搬运机型。
无载波输送式、载波输送式、载波吊架输送式、节拍输送式等，可根据成本选择。
也可以对应与前后装置的交接功能和外部通信功能的追加。 另外，也可以安装自动门和自动盖、自动药液供给、秤量、回收装置、摆动机构和浓度管理机构。
干燥可以组装旋转干燥器、IPA蒸汽干燥器等
Ø 泄漏传感器
Ø 排气压力传感器
Ø 非紧急停止开关。
Ø 一时停止开关(带自动机械)
Ø 门传感器(带自动机械)
Ø 压力转换器
Ø 温度传感器(恒温规格)
Ø 自动灭火系统(有机用)
Ø 白炽灯
Ø 带网玻璃或强化玻璃(有机用)
Ø 爆压舱口(有机用)
Ø 各种联锁装置等
Ø ※根据装置的不同，有可能无法安装一部分机器