单元式直通清洗装置
半导体，从包装基板的超精密清洗到零部件的脱脂清洗，广泛对应的直接路径清洗系统。通过对各工序进行单元化，可以提出合理而紧凑的装置。通过各单元的组合，可以构筑理想的清洗系统
Ø 直接通路清洗系统可实现更高的洗净能力
利用在大流量液和气体循环中产生的作用的清洗原理，实现极小的缝隙清洗、护发素、干燥.半导体清洗、包装基板的通量清洗、精密零件的间隙清洗等，对于目前为止的洗涤方式难以清洗、干燥的课题，发挥其威力
Ø 机身小巧，价格实惠
通过标准化所需的功能，实现了设备尺寸的紧凑化和低价位化。另外，通过简单的结构可以很容易地进行维护
Ø 组合自如
通过只组合清洗、护发素、干燥的各工序的必要部分，可以构筑没有浪费的清洗系统。通过丰富的选项组合，也可以应对高水平的清洗、干燥精度
Ø 产品主要规格
型式 | KAD-SU-W | KAD-SU-D |
购物篮尺寸 | 100 x 100 x 220H | 100 x 100 x 220H |
工作重量 | 8公斤 | 8公斤 |
装置尺寸 | 500 x 1050 x 1095H | 500 x 1050 x 1095H |
洗涤液量 | 110升 | 110升 |
电容 | 5.5千瓦 | 5.5千瓦 |
选项。 | 循环过滤装置
洗涤篮
过升温用恒温器
帕因REC安装
冷却线圈 | HEPA过滤器
过升温用恒温器
预滤器
迪米斯塔
洗涤篮 |