带自动搬运机的直接路径清洗装置
通过自动搬运单元可以实现工件清洗的各进程(清洗、冲洗、干燥)的自动化。在半导体封装基板的熔体清洗、超精密清洗中发挥威力的直接路径清洗与自动搬运机相结合，实现了效率化、清洁化
Ø 直接通路清洗系统可实现更高的洗净能力
利用在大流量液和气体循环中产生的作用的清洗原理，实现极小的缝隙清洗、护发素、干燥.半导体清洗、包装基板的通量清洗、精密零件的间隙清洗等，对于目前为止的洗涤方式难以清洗、干燥的课题，发挥其威力
Ø 自动传送设备
把洗涤篮全自动地安全可靠地搬运。也应对清洁化的要求