准分子照射装置
采用以172nm紫外线为主波长的准分子照射装置进行表面改性。因为采用了RF (高频)放电灯，闪烁少的稳定的输出功率。 另外采用平面型灯，大面积实现了均匀的照射
准分子照射装置(主波长: 172nm )
Ø 因为采用了RF放电灯，闪烁少的稳定的输出功率。 采用平面型灯，大面积实现均匀的照射
Ø 准分子灯利用了封入稀有气体的灯内产生的放电等离子体(电介质阻挡放电)产生的光(准分子光)。
Ø 主要波长有126nm(Ar2)、146nm(Kr2)、172nm(Xe2)、222nm(KrCl )、308nm(XeCl )。
Ø 本公司采用利用了Xe2的以172nm为主波长的灯单元，提供表面改性、亲水化处理(润湿性方向上)用的装置
Ø 与将放电直接照射到工件的电晕放电、等离子体方式不同，准分子照射只是真空紫外线的照射，对工件几乎没有损伤。
Ø 与电极的溅射产生粉尘的电晕放电、等离子体方式不同，可进行清洁处理。
Ø 利用光的准分子照射没有处理不均。
Ø 可瞬时点亮、熄灭
Ø 因为采用了RF (高频)放电灯，闪烁少的稳定的输出功率。
Ø 采用平面型灯，大面积实现均匀的照射