扫描准分子发射器
将以172nm为主波长的准分子照射单元和扫描用载物台、臭氧分解装置一体化，仅用100V的电源就能简单且安全地进行准分子表面改性实验的装置。 【特征】扫描用
可通过扫描用载物台进行比以往更大面积的处理。
臭氧分解装置一体型，无需排气设备等
Ø 扫描准分子发射器
型号 ASM86 Excimer
发光波长 172纳米
处理对象物 W86mm×D120mm以下、厚度40mm以下
照射距离调整 带调整用实验室千斤顶(照射距离0~40mm可变)
外形尺寸 本体: ( W)432mm×(D)510mm×(H)520.5mm (突起物除外)
概算重量 约25kg (本体20kg、照射单元4.8kg )
本体材质 SUS304/A5052P/SPCC
Ø 照射单元
灯泡制造商 滨松光子学株式会社制
型号 FLAT EXCIMER EX-86U L13129
照射强度 65mW/c㎡
照射面尺寸 86mm×40mm
准分子有效照射距离5mm以内推荐
冷却方式 强制空冷
Ø 输送部
桌面材质 A5052P (带定位用狭缝)
遮光罩 PVC (防紫外线黄色)
处理速度 0.1mm/sec~120mm/sec
处理可动范围 240毫米
Ø 其他
触摸屏 4英寸单色触摸屏
食谱数 20方法(处理速度、可设定照射时间)
监视器功能 当前速度、当前位置、剩馀时间带显示功能
排臭设备 内置臭氧催化剂(风扇强制排气)
实用程序 AC100V 50/60Hz 400VA