准分子照射装置定制事例
用于R&D用扫描式准分子照射装置( 400mm )照射宽度400mm的准分子照射单元的扫描式照射装置。 最大工件尺寸为400×800mm。 型号ASM400 E
型号 ASM400 Excimer
发光波长 172纳米
处理对象物 W400mm×D800mm以下、厚度40mm以下
照射距离调整 带调整用实验室千斤顶(照射距离0~40mm可变)
外形尺寸 本体: ( w ) 760 mm×( d ) 200 mm×( h ) 630 mm (突起物除外)
概算重量 约12.7 kg (本体100kg、照射单元10.3kg灯电源12.4kg )
本体材质 SUS304/A5052P/SPCC
Ø 照射单元
灯泡制造商 滨松光子学株式会社制
型号 flatexcimerex-400 l 1751-01
照射强度 65mW/c㎡
照射面尺寸 400mm×38mm
准分子有效照射距离5mm以内推荐
冷却方式 强制空冷
Ø 输送部
桌面材质 A5052P (带定位用狭缝)
遮光罩 PVC (防紫外线黄色)
处理速度 0.1mm/sec~120mm/sec
处理可动范围 1000mm
Ø 其他
触摸屏 7英寸单色触摸屏
食谱数 20方法(处理速度、可设定照射时间)
监视器功能 现在速度，带现在位置显示功能
排臭设备 内置臭氧催化剂(风扇强制排气)
公用事业公司 单相200 v 50/60 Hz 100 va