韦哈整列机ANA 200 / MN200 / AFA200 / MFA200
自动调整马哈(也有手动类型)。把整列机韦哈(ANA、Ma)或平整(AFA、MFA)排成一列。省空间的台面类型。200mm对应。
诺奇韦哈(ANA、Ma)或平整(AFA、MFA)排列。
省空间的台面类型
实现E2%保护。在所有的韦哈和职业的接触点上使用特殊材料,并排成清洁和保护
自动类型(ANA、AFA)开始设置
排列角度可以通过钥匙垫选择
SECU / GS可以对应
手册类型(Ma,MFA)不介意安全性和粒子污染,很容易使用高成本效果和简单使用方便
规格:
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 1.2 A |
外形尺寸 | ANA200: 330(L)×185(W)×165(H) mm (自動タイプ、ノッチウェハ) MNA200: 230(L)×188(W)×165(H) mm (マニュアルタイプ、ノッチウェハ) AFA200: 330(L)×185(W)×165(H) mm (自動タイプ、フラットウェハ) MFA200: 230(L)×188(W)×165(H) mm (マニュアルタイプ、フラットウェハ) |