USG-402S,基板用双面清洁器(节能型),HUGLE藤宫
说明：
是从小型基板到第10代液晶玻璃的对应的非接触式双面干爽器。在平面面板显示器（液晶，有机EL，等离子）的阵列和单元格行程中附着的分区，可以在表里同时清洗。最适合用心仪传送的FPD、OLED、太阳光发电面板的双面清洗。
介绍：
在大型显示器的需求扩大期，面板制造厂正在推进由母玻璃的大型化提高生产性。本公司利用今天为止培养的干洗技术，为今后的大型面板的生产性的提高做出贡献。（G12对应机开发中）
可消除百分之百的1.6μm的微粒
规格：
実験装置 | 弊社内クリーンルーム（クラス100）内搬送装置 |
除塵対象 | 液晶用ガラス基板（370×470×0.7mm Ｃｒ膜） |
散布粒子 | 液晶用スペーサー（ミクロパール1.6・3・5・10μm）、ガラス粉塵 |
ヘッド吐出圧力 | 13kPa |
基板ギャップ | 1.5mm |
搬送速度 | 100・200・300mm/sec |
評価機器 | CCDカメラ |