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UV干燥处理器,ORC株式会社

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UV干燥处理器,ORC株式会社

上市日期:2018-10-27
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品牌:ORC株式会社

名称:UV干燥处理器

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UV干燥处理器

在形成半导体制造过程、液晶基板制造过程等微细图案的工程中,是在基板表面残留的有机物,照射UV以非接触去除有机物污染的装置。不给予基板损伤,可以进行表面的清洗和改质。

特点:

1 .在基板上搭载有损坏有机物的能力的独特的低压UV灯。

2 .使用摇晃基板的模式的话,在基板上UV光量均等地照射。

3 .基板不太被加热。

4 .把臭氧剪掉的照射方式也适用于使氮气的照射方式。


品牌:ORC株式会社

名称:UV干燥处理器

   
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