非蒸发吸气泵AG-NEG,MNEG70,MNEG114
AG-NEG 泵是一种新型非蒸发吸气剂(NEG)泵,采用最新技术非接触雾化方法使用NEG粉末,并以颗粒形式使用粉末,无需压缩和固化。NEG 粉末是完美的球形,具有极其稳定的表面,可实现高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑稳定,因此再抽真空时从表面层释放的自体气体极少,非常适合UHV/XHV发电。由于NEG粉末采用较大的颗粒状颗粒,粒径为100~200μm,因此可以薄薄地密封在衬有细丝网的圆盘形传热容器中,无需担心NEG粉末散射。此外,NEG粉末是通过中央加热管(常压侧)的传导加热来活化的,因此活化过程中散发的辐射热量极少。
非蒸发吸气泵AG-NEG特点和优点:
粉末颗粒形状为完美球形
无尘
自气体释放量小(适用于XHV)
CO排出速度高
Zr、V、Fe三元合金粉末
通过盘数调节排气速度(100至500L/s)
通过延长圆盘之间的距离来分配泵
护套加热器和热电偶(大气侧)可自由安装和拆卸
自由安装方向
无振动、无带电粒子、无电(运行时)