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非蒸发吸气泵AG-NEG东京电子TOEL

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非蒸发吸气泵AG-NEG东京电子TOEL

上市日期:2024-07-01
Product Type:

品牌:东京电子TOEL

名称:非蒸发吸气泵

型号:AG-NEG

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非蒸发吸气泵AG-NEG,MNEG70,MNEG114

AG-NEG 泵是一种新型非蒸发吸气剂(NEG)泵,采用最新技术非接触雾化方法使用NEG粉末,并以颗粒形式使用粉末,无需压缩和固化。NEG 粉末是完美的球形,具有极其稳定的表面,可实现高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑稳定,因此再抽真空时从表面层释放的自体气体极少,非常适合UHV/XHV发电。由于NEG粉末采用较大的颗粒状颗粒,粒径为100~200μm,因此可以薄薄地密封在衬有细丝网的圆盘形传热容器中,无需担心NEG粉末散射。此外,NEG粉末是通过中央加热管(常压侧)的传导加热来活化的,因此活化过程中散发的辐射热量极少。


非蒸发吸气泵AG-NEG特点和优点:

粉末颗粒形状为完美球形

无尘

自气体释放量小(适用于XHV)

CO排出速度高

Zr、V、Fe三元合金粉末

通过盘数调节排气速度(100至500L/s)

通过延长圆盘之间的距离来分配泵

护套加热器和热电偶(大气侧)可自由安装和拆卸

自由安装方向

无振动、无带电粒子、无电(运行时)

 


品牌:东京电子TOEL

名称:非蒸发吸气泵

型号:AG-NEG

ICF70系列主要规格
磁盘大小Φ30×h4毫米
1盘充填NEG量5.5克
1盘抽速H2=18、CO=20、N2=7 升/秒
抽速(H2)100~500L/s
加热管¼” 铬镍铁合金或 SUS316
激活条件450℃×30分钟
兼容法兰ICF070 (SUS316L)
泵总高度100-300毫米
重量450~600克


   
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