气体分析仪WATMASS-MPH
超低气体排放残留气体分析仪WATMASS能够在10-13Pa（分压）范围内进行XHV气体分析。
产品特点和优点：
低辐射/高导热率的超低气体排放RGA 0.2% BeCu合金离子源法兰，减少灯丝热量的影响，实现 E⁻13Pa 级别的气体分析
采用Ptlr合金栅+强电子轰击脱气机制，氢气和ESD的伪峰比常规产品降低到1/1000以下。
所有部件均在电炉中拆卸和脱气。
改进型 Inficon Transpector MPH
使用的软件：最新的 FabGurad Explorer