品牌:MEGATORR株式会社
名称:逆流防止阀
型号:M-NW50
逆流防止阀M-NW50,M-NW30H,M-NW40H
安装在真空排气泵上部,是在排气泵紧急停止时切断排气线的部件。在成膜、剥离过程中产生的反应产物和粉尘在Chamber内和排气系统中累积过程中如果泵紧急停止的话,会引起Chamber内粉尘的飞扬和管道等造成的Chamber内产品污染。通过使用Chamber防护,在停止泵时,通过瞬间切断排气系统,防止粉尘逆流,保护产品不受污染。
粤公网安备 44030502001236号