平面度测量装置SF-640M
硅片平整度测量系统NANOMETRO 300TT,NANOMETRO 200TT
盘表面形状测量系统NANOMETRO 700FR,NANOMETRO 1000FR
超高精度平面度测量装置SF-640M特点：
采用高精度气动滑座、线性伺服马达等黑田超精密加工技术，实现了世界最高水平的平面度测量。
操作简单，显示和解析功能丰富！
为了对测量结果做出最适合的评价，运用在NANOMETRO系列销售业绩中积累的经验，配备了我公司自行开发的各种显示和解析软件。
可对各种工件进行评价！
支持金属、陶瓷、玻璃、各种晶圆等各种工件。测头采用可根据客户所要求的评价项目和精度进行更换的设计，可对测定对象做出最适合的评价。
安全性、操作性和高精度兼备，深思熟虑的结构设计！
配备大小2种测量工件拆装门，以保证安全性，同时可用起重机等设备装载工件，在设计中注重操作性。此外，通过将测量中的外部干扰影响控制在最低限度和将产生热量的电气装配部件分离，实现了高精度测量。