压力调节器减压阀
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压力调节器特征:
适用于半导体制造设备和设施等超高纯气体供应应用。
与集成气体系统 (IGS) 兼容。使用SUS316L(双熔体)材料。
从小流量到大流量(200slpm)、腐蚀性用途、绝对压力用途,产品种类繁多。
外部金属密封结构
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