韦哈移动机SPP200/SPP150
特点：
超薄风度对应（TEKO过程）单曲拾取的wa移动装置。省空间的台面类型。
产品介绍：
省空间的台面类型
非真空方式
TEKO过程的wa移动也对应。
在移动前进行映射，读取正确的韦哈位置。
关于更换的载体也检查有没有剩下的whh
200mm（SPP200）或150mm（SPP 150）对应
PWP（韦哈搬运发尘）< 10@ 0.2%
对职业和韦哈实现ESMAP的保护
选项（MEMS服务用长尺缘接触菲格）
规格：
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 2 A |
外形尺寸 | SPP150： 856（L）×677（W）×645（H） mm SPP200： 856（L）×677（W）×645（H） mm |