韦哈整列机ANA 200 / MN200 / AFA200 / MFA200
自动调整马哈（也有手动类型）。把整列机韦哈（ANA、Ma）或平整（AFA、MFA）排成一列。省空间的台面类型。200mm对应。
诺奇韦哈（ANA、Ma）或平整（AFA、MFA）排列。
省空间的台面类型
实现E2%保护。在所有的韦哈和职业的接触点上使用特殊材料，并排成清洁和保护
自动类型（ANA、AFA）开始设置
排列角度可以通过钥匙垫选择
SECU / GS可以对应
手册类型（Ma，MFA）不介意安全性和粒子污染，很容易使用高成本效果和简单使用方便
规格：
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 1.2 A |
外形尺寸 | ANA200： 330（L）×185（W）×165（H） mm
（自動タイプ、ノッチウェハ） MNA200： 230（L）×188（W）×165（H） mm
（マニュアルタイプ、ノッチウェハ）
AFA200： 330（L）×185（W）×165（H） mm
（自動タイプ、フラットウェハ）
MFA200： 230（L）×188（W）×165（H） mm
（マニュアルタイプ、フラットウェハ） |