韦哈整列机AFA150/MFA150/ANA150/MN150
自动调整马哈（也有手动类型）。把整列机韦哈（ANA、Ma）或平整（AFA、MFA）排成一列。省空间的台面类型。150mm对应
平整（AFA，MFA）或韦哈（ANA，Ma）整齐排列。
省空间的台面类型
实现E2%保护。在所有的韦哈和职业的接触点上使用特殊材料，并排成清洁和保护
自动类型（AFA、ANA）开始设置职业生涯
希望的排列角度可以通过钥匙垫选择
SECU / GS可以对应
手册类型（MFA，Ma）不在意安全性和粒子污染，高成本效果和简单使用方便
规格：
电源 | AC 100/240 V、50 / 60Hz |
电流容量 | 1.2 A |
外形尺寸 | AFA150： 285（L）×220（W）×192（H） mm
（自動タイプ、フラットウェハ） MFA150： 226（L）×175（W）×128（H） mm
（マニュアルタイプ、フラットウェハ）
ANA150： 285（L）×220（W）×192（H） mm
（自動タイプ、ノッチウェハ）
MNA150： 226（L）×175（W）×128（H） mm
（マニュアルタイプ、ノッチウェハ） |