品牌：ORC株式会社
名称：UV干燥处理器
UV干燥处理器
在形成半导体制造过程、液晶基板制造过程等微细图案的工程中，是在基板表面残留的有机物，照射UV以非接触去除有机物污染的装置。不给予基板损伤，可以进行表面的清洗和改质。
特点：
1 .在基板上搭载有损坏有机物的能力的独特的低压UV灯。
2 .使用摇晃基板的模式的话，在基板上UV光量均等地照射。
3 .基板不太被加热。
4 .把臭氧剪掉的照射方式也适用于使氮气的照射方式。
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