用鼓风机吸引外部空气，通过高性能( HEPA )过滤器向对象空间等供给清洁空气的装置。 也可以循环使用。
洁净空气供给装置是指用鼓风机吸引大气中的空气，通过HEPA过滤器的洁净空气通过管道软管等供给对象空间的装置。 与天花板悬吊型FFU (风扇过滤单元)不同，通过管道供给洁净空气，因此具有振动少、可循环使用、吹入强风速( 13m/s )的洁净空气的优点。 可方便地用于洁净工作台和要求洁净度的装置生产线等
l 紧凑设计
带脚轮，移动设置方便。 可以方便地拿到使用的地方
l 全不锈钢
外壳使用不锈钢。 抗锈性强，无尘土
l 丰富的选项
备有风量调节、差压表、活性炭过滤器等方便的选择项
l 用途
连接到清洁工作台
想向试验空间吹入清洁空气时很方便
机械装置连接
适用于半导体检查装置、清洗装置等要求清洁度的机械装置
生产工序的工件内连接
使用激光刻印机等时，可保持工件中的清洁
| 产品名称 | 清洁空气供给装置 |
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| 型号 | KSC-CA3 |
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| 外观 |  |
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| 外形尺寸( mm ) | W300×H395×D440 |
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| 处理风量/风速 | 3.6m³/min，13m/s |
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| 噪音值( dB(A ) ) | 65 (估计) |
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| 构成 | 预过滤器 |
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| 鼓风机 |
| 活性炭片(选购件) |
| HEPA过滤器 |
| 平均捕集效率 | 收集99.97%以上0.3µm以下的粒子 |
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| 电源 | AC100V 50/60Hz |
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| 电力消耗 | 120瓦( 50/60hz ) |
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| 重量 | 14公斤 |
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| 主体材质 | 不锈钢 |
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| 喷出口 | φ75用 |
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消耗品
| 品名 | 型号 |
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| 更换用预过滤器 | KSC-CA3-PF |
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| 更换用HEPA过滤器 | KSC-CA3-HP |
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| 更换用活性炭过滤器 | KSC-CA3-UFP |
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