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MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社
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MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社

上市日期：2020-05-14
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品牌：MEGATORR株式会社

名称：非加热插槽蝶泳阀门

型号：MR系列
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非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通过阀部0～90°可变来进行真空压力控制的节流阀。

各种真空室（蚀刻装置等）的压力控制可以快速响应。

通过与AP系列控制器/电容计并用，可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。

MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社

品牌：MEGATORR株式会社

名称：非加热插槽蝶泳阀门

型号：MR系列

MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社
   
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