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MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社

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MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社

上市日期:2020-05-14
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品牌:MEGATORR株式会社

名称:非加热插槽蝶泳阀门

型号:MR系列

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非加热插槽蝶泳阀门MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通过阀部0~90°可变来进行真空压力控制的节流阀。

各种真空室(蚀刻装置等)的压力控制可以快速响应。

通过与AP系列控制器/电容计并用,可以在半导体等工艺中获得高速响应、真空压力控制。

MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社

品牌:MEGATORR株式会社

名称:非加热插槽蝶泳阀门

型号:MR系列

MR系列非加热插槽蝶泳阀门MEGATORR株式会社

   
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