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M-NW50逆流防止阀MEGATORR株式会社

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M-NW50逆流防止阀MEGATORR株式会社

上市日期：2020-05-14

Product Type:

品牌：MEGATORR株式会社

名称：逆流防止阀

型号：M-NW50

Order Hotline: QQ:2943570851

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逆流防止阀M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安装在真空排气泵上部，是在排气泵紧急停止时切断排气线的部件。在成膜、剥离过程中产生的反应产物和粉尘在Chamber内和排气系统中累积过程中如果泵紧急停止的话，会引起Chamber内粉尘的飞扬和管道等造成的Chamber内产品污染。通过使用Chamber防护，在停止泵时，通过瞬间切断排气系统，防止粉尘逆流，保护产品不受污染。

M-NW50逆流防止阀MEGATORR株式会社